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终于攻克技术难关！中国将造出顶级光刻机，中科院：至少落后15年

时间：2023-04-25 来源： 浏览：

终于攻克技术难关！中国将造出顶级光刻机，中科院：至少落后15年

半导体工艺与设备
半导体工艺与设备

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1、半导体工艺研究、梳理和探讨。 2、半导体设备应用、研发和进展。 3、建华高科半导体设备推广，包括：曝光机、探针台、匀胶机和切片机。 4、四十五所半导体设备推广，包括：湿化学设备、先进封装设备、电子元器件生产设备等。

收录于合集
相信大家都知道，中国的科技发展比较晚，所以目前很多高科技技术相对比较落后，再加上西方国家 对高新技术进行封锁，所以，我国现在对芯片这个高科技领域的发展也非常的重视。
生产芯片过程中必不可少的一个设备-光刻机，最近中国关于光刻机的话题又闹得 沸沸扬扬。
世界上制造光刻机最有名的是ASML，中国也正在采购它家的高级刻录机，但是，ASML向荷兰当局申请出口许可4个月了，但一直没有得到许可，导致ASML无法按时交货。
这台高级极紫外光刻机，也是中国唯一的一台极紫外光刻机，用于5/7/8nm高级芯片的制造，而这台极紫外光刻机真的对中国芯很重要，甚至对中国芯都很重要。

因为目前中国制造不出高端光刻机，所以它承载的是中国在高端芯片制造方面的希望，所以一听说ASML没能及时交货，被卡在出口许可证上了，自然关注度就来了。

当然，也有人表示，既然这样，那中国就赶紧花高价去研发，赶紧追上来就好了，事实上目前从技术演进的路径来看，中国光刻机水平至少差ASML15年以上。

高级刻录机的生产制造，我们差的不仅仅是技术，在人才和经验的积累上，可能才是最重要。ASML曾经扬言说过：就算我公开图纸，大家也造不出和我一样强的光刻机出来。
光刻机的原理
我们知道光刻机的原理其实就是放大的单反，光刻机就是将光罩上的设计集成电路图形通过光线的曝光印到光感材料上，形成图形，其中最核心的就是镜头。
其次就是分辨率，光刻机的分辨率是光刻机最重要的技术指标之一，决定了光刻机能够被应用 的工艺节点水平。
最后是套刻精度，也就是指前后两道光刻工序之间彼此图形的对准精度，如果对准的偏差过大，就会直接影响产品的良率。

而光源相对好说，但分辨率、套刻精度就是制约其它厂商前进的脚步，因为分辨率和套刻精度就决定了制造芯片的工艺节点，可以分为0.35um、0.25um、0.18um、90nm、65nm、40nm、28nm、20nm、16/14nm、10nm、7nm等。
而像分辨率、套刻精度这些不仅仅是技术好就能够实现的，而是那些工程师几十年如一日的试验，调校出来的。
也正因为这样所以ASML才能吹牛，说自己就算公开图纸，别人也造不出和它一样的光刻机来，因为零件一样，你也未必能够实现它的精度。
中国光刻机的差距
中科院曾表示：中国光刻机技术至少落后ASML15年。
目前中国只能生产出90纳米的光刻机设备，这也是生产国产光刻机的最高技术水平，比ASML公司差不多有15年的差距。国产光刻机发展缓慢，克服困难自己生产这些零部件，目前生产出来的光刻设备已用到很多的国产企业中。
中科院光电所研发出365纳米波长，曝光分辨率达到22纳米的光刻机，是近紫外的光线，离极紫外还有一点差距。光刻机的波长决定了芯片工艺的大小，波长越短，造价越高。像ASML最先进的EUV极紫外光刻机，波长只有13.5纳米，可以生产10nm、7nm的芯片。

在光刻机的研发道路上，再难我们也得研发，否则就会被人卡脖子，目前这台极紫外光刻机不就是如此么？
当然，想要完成这样的高科技项目，肯定少不了科学家的潜心研究，杨振宁是物理界少有的大量运用数学的科学家。
他曾经说过： 我的物理学界同事们大多对数学采取功利主义的态度。也许因为受我父亲的影响，我较为欣赏数学。我欣赏数学家的价值观，我赞美数学的优美和力量：它有战术上的机巧与灵活，又有战略上的雄才远虑。而且，堪称奇迹中的奇迹的是，它的一些美妙概念竟是支配物理世界的基本结构。
杨振宁提出要 “寻找美妙的几何结构” ，就是用数学来研究物理。
1983年，杨振宁向中学生介绍自己的学习过程时，就专门提到了一个人。
他说：“有一位 刘薰宇 先生，他是位数学家，写过许多通俗易懂和极其有趣的数学方面的文章。我记得，我读了他写的关于一个智力测验的文章，才知道排列和奇偶排列这些极为重要的数学概念。”

刘薰宇是中国著名的数学家跟教育家，他跟杨振宁的父亲还是同学。
他有多牛呢？我举个例子。
在中国的历史上，有一所神一般存在的中学：春晖中学。
这所学校的美术老师是 丰子恺。
音乐老师： 李叔同。
国文教师： 朱自清、朱光潜。
书法课： 于右任。
此外，还有 蔡元培，蒋梦麟，何香凝，叶圣陶，张大千，巴人，廖仲恺，黄炎培，陈望道 等等前来讲座。
而数学老师是谁呢？就是 刘薰宇。
所以，在数学教育这个领域，刘薰宇绝对是民国大师级的存在。像美术老师丰子恺就经常跟刘薰宇请教。
丰子恺说：
“我与薰宇相识后，他便做这些文章。他的每次发表，我都读，诱我读的，是它们的富有趣味的题材。我常不知不觉地被诱进数学的世界里去。
每次想，假如从前有这样的数学书，也许我不会抛荒数学……
其中《韩信点兵》一篇给我的回想很不好：
这篇文章发表时，我正患眼疾，医生叮嘱我灯下不可看书，而我接到杂志，竟在灯下一口气读完了。次日眼睛很痛，又去看医生。”
我专门找来了刘熏宇的书给我家小孩看，我家小孩正在上六年级，平时也补习数学，他有时候觉得上补习班有点枯燥。可他看这个书，却觉得很有意思，而且还能把他在补习班学到的东西运用过来。一看就看了个把小时。平时，他是坐十五分钟就要挪屁股的。

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