诚邀参编单位！《半导体级超纯可熔融性聚四氟乙烯（PFA）管》等团体标准通过立项审查！

2023年8月14日，中国石油和化学工业联合会发布了《关于印发2023年第一批中国石油和化学工业联合会团体标准项目计划的通知》，由北京国化新材料技术研究院组织申报，保视丽(上海)新材料科技有限公司牵头起草的《半导体级超纯可熔融性聚四氟乙烯（PFA）管》团体标准顺利通过立项评审。

随着大规模集成电路的高集成度化、高密度化、精细化的发展，对半导体生产过程中使用的材料提出了更高纯度和功能性的更高要求，对 PFA材料也提出了延长使用寿命、降低其对气体、液体的渗透性、提高光滑度等多种不同要求。建立针对半导体制程设备使用的超纯输送系统的相关零配件的标准，特别是湿电子化学品需要大面积接触的输送PFA管道标准。将会极大的规范超纯输运系统行业的发展，促进本行业技术水平的快速提升，提升中国半导体产业的技术水平。

该标准是在参考了用于超纯水和液态化学品输送系统的聚合物材料及组件的规范文件SEMI F57基础上提出的满足中国本地半导体行业发展的新标准。针对半导体级超纯PFA管的尺寸与性能规范提出相应要求。

希望通过本标准的制定与施行，规范与提高国内的半导体用的PFA管道的产品质量水平，降低因为管道质量稳定性、管道型号规格适配性和管道产品的技术水平引起的不合格芯片的比例，提高中国集成电路芯片制程的良率水平。

除《半导体级超纯可熔性聚四氟乙烯（PFA）管》外，还有《乙基全氟异丁基醚》、《工业用全氟己基碘、全氟己基乙基碘》等团体标准也在该批中成功立项。为确保标准的科学、合理、全面和可操作性，并保证标准项目的如期完成，现诚邀各有关企事业单位参与上述标准的编制工作。

联系人：

刘曼琳

18502289470  liumanlin@acmi.org.cn

李晓庆

15201692950  lixiaoqing@acmi.org.cn

彭雪丽

15827382090  pengxueli@acmi.org.cn

曾龙龙

17627887306  zenglonglong@acmi.org.cn

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