拟7亿元新建8吨/年高纯、高丰度11BF3特种气体生产线！

中美贸易摩擦升级，美国对中国的集成电路企业进行打压，部分基础原材料、高端芯片的正常贸易受到严重影响。三氟化硼硼11同位素气体是主要的离子注入气体。目前，这种稳定同位素几乎全部依赖进口，且单价较高，亟待国产化。 根据气体圈子 《中国气体行业年鉴 2021》 , 工业和信息化部2021年发布《重点新材料首批次应用示范指导目录（2021年版）》 ， 电子化工新材料特种气体包括高纯、高丰度11BF3气体：硼-11丰度≥99.7%；11BF3纯度 ≥99.999%；N2≤4ppm，CO≤0.5ppm，O2≤1ppm，CH4≤1ppm，H2O≤1ppm，CO2≤2ppm；

高纯度同位素材料正越来越多地被用到更大尺寸的芯片制造过程中。 2022年11月，由气体圈子主办的第七届国际气体产业大会期间，前林德气体同位素和低温精馏专家John Weyrauch，就低温精馏工艺设计，结合11BF3和13CO大规模生产的实际案例做《连续精馏技术在11BF3和13CO大规模生产中的应用》的专业分享。核工业理化工程研究院稳定同位素技术研究中心副总经理、高级工程师周红艳女士专题分享《稳定同位素的研究与应用》。