又一“卡脖子”新材料!三菱化学再布局!产能翻倍!
时间:2023-10-02
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石化行业走出去联盟
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光刻胶概况
光刻胶又称为
光致抗蚀剂
,是一种感光材料,其中的感光成分在光的照射下会发生化学变化,从而引起
溶解速率
的改变,其主要作用是将掩模版上的图形转移到晶圆片等衬底上。光刻胶的工作原理如图所示。首先,将光刻胶涂布在衬底片上,前烘去除其中的溶剂;其次,透过掩模版进行曝光,使曝光部分的感光组分发生化学反应;然后,进行曝光后烘烤;最后通过显影将光刻胶部分溶解(对于正光刻胶,曝光区域被溶解;对于负光刻胶,未曝光区域被溶解),从而实现集成电路图形从掩模版到衬底片的转移。
光刻胶工作原理
原材料自主供应成光刻胶本土替代关键环节
三菱化学近期动态
来源: 化工新材料
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