硅片线切割有限元热分析

论文简介

硅片放电切割是一种新型的工艺方法,硅片放电切割技术能直接得到大尺寸、超薄硅片,且不受硅片各向异性的影响.设备成本很低,切割效率较高.该文用有限元方法对低电阻率单晶硅片的放电加工温度场和应力场进行分析,探讨放电参数对加工表面形貌及性能的影响.

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