首页 > 论文下载

金属等离子体浸没离子注入技术合成NbN膜

期刊名字：北京师范大学学报
文件大小：
论文作者：宋教花，张涛，侯君达，邓志威
作者单位：北京师范大学低能核物理研究所
更新时间：2023-03-20
下载次数：次

会员下载(3点)

VIP会员下载(0点)

游客扫码下载(3点)

论文简介

利用无大颗粒的金属等离子体浸没增强沉积技术,在Si基体上进行动态离子束增强沉积NbN,在低温下制成了NbN薄膜.薄膜表面细密光滑,退火前其硬度＞16.8 MN@mm-2,退火后硬度＞16.0 MN@mm-2.

论文截图

上一条：等离子体浸没离子注入技术综述

下一条：等离子体基离子注入过程中试样温度的预测

版权：如无特殊注明，文章转载自网络，侵权请联系cnmhg168#163.com删除！文件均为网友上传，仅供研究和学习使用，务必24小时内删除。

氮化铌金属等离子体动态离子束增强沉积