小孔径超精测量方法的研究

论文简介

孔径的超精测量,一直是长度计量中的难点.本文提出一种采用双频激光干涉技术和微位移微瞄准技术实现的小孔孔径超精测量系统,可在8～50mm的范围内实现0.01μm的分辨力和0.1μm的测量精度,为国际领先水平.该方法已成功应用在惯性仪表零件孔径及垂直度的超精测量中,达到了满足的效果.

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