JB/T 7707-1995 离子镀硬膜厚度试验方法 球磨法

A29中华人民共和国机械行业标准JB/T7707—95离子镀硬膜厚度试验方法球磨法1995-06-20发布1996-01-01实施中华人民共和国机械工业部发布中华人民共和国机械行业标准离子镀硬膜厚度试验方法JB/r7707-95球磨法1主题内容与适用范围本标准规定了离子镜硬膜厚度的球磨试验方法。本标准适用于由PVD和CVD方法制成的各种硬膜也可用于氧化膜和电镀层厚度的试验。2球磨法原理和膜厚计算球磨法属断面观察法,它通过一个添加适量研磨膏的旋转钢球,在试件表面研磨出一个作观察和测量用的球面凹坑。钢球与膜层表面及基体的接触部分是两个同心圆,见图1。膜层基体y膜层基体图1研磨凹坑断面图膜层厚度与钢球半径和研磨凹坑尺寸有关,如式(1)所示:(1)式中:T—膜层厚度m;R——钢球半径,pm;2a——研磨后膜昃表面形成的边缘直径,Am;机械工业部1995-0620批准1996-0101实施JB/T7707-952b——研唐后膜层与基体连接界面的边缘直径,pm。y= a-b注:①钢球在圆柱怵表面上的研磨凹坑为一椭圆球面,则2a和26为椭圆的长轴2)复合膜在研磨后得到的是几组同心圆环(或椭圆环),每一组圆环代表相应的膜层,可以测得各膜层的厚度3试验方法3.1球磨装置球磨装置主要由磁性夹具、电动机、转轴、载物台及底板和电源构成,见图2。测试时,调节转轴位置和载物台倾角,使钢球与试件的测试点和转轴接触,在电动机转动时,钢球受摩擦力矩的作用而旋转。图2球磨装置3.2试验要求a.试件的基体表面粗糙度R,≤0.8gm;b.钢球采用滚珠轴承钢钢球,直径10~30mm,一般取20mm;c.金刚砂研磨膏粒度为3gm。3.3试验程序a.将试件装夹在载物台上;b.将钢球搁置在试件的测试点(曲面应是其顶点)和转轴上,转轴的轴线应与虞面平行;c,在钢球表面涂上适量研磨膏滴酒精稀释;d.启动电动机使钢球旋转;e、研磨深度达到膜层厚度的两倍时停止硏磨,擦净试件表面;f.置试件于实物光学显微镜的载物台上。在放大100倍下测量研磨凹坑的尺寸;g.按式(1)计算膜层厚度。JB/T7707-95附加说明本标准由全国金属与非金属覆盖层标委会提出本标准由武汉材料保护研究所归口。本标准由上海工具厂负责起草。本标准主要起草人金达义。中华人民共和国机械行业标准离子铍硬膜厚度试验方法球磨法JB/T?707-95机械工业部机械标准化研充所出版发行机械工业部机械标准化研究所印刷(北京8144信箱郎编100081)版权专有不得翻印开本880×12301/16印张1/2字数6,0001996年!月第一版1996年1月第一次印刷印数00,001-500定价5.00元编号95-05