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接触式干涉仪技术改造

期刊名字：计测技术
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论文作者：何学军，张志权
作者单位：中国一航北京长城计量测试技术研究所
更新时间：2023-01-24
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论文简介

介绍了一种接触式干涉仪数字化改造的方法.改造后的接触式干涉仪采用高精度电感式位移传感器采集数据,由计算机直接输出测量报告;减少了人为的读数误差和对线误差,具有测量精度高、测量速度快、操作简单易掌握等优点.

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