半导体激光气体氮化钛合金的研究

在钛合金（TC4）表面采用激光气体氮化的方法制备TiN表面改性层，采用扫描电子显微镜、X射线能谱仪、X射线衍射仪、显微硬度计、摩擦磨损试验机分别分析了TiN表面涂层的组织形貌、相结构与成分、硬度分布、耐磨损性能及抗气蚀性能。研究结果表明，钛合金激光气体氮化后形成了厚度为840μm，均匀致密、无裂纹和孔洞等缺陷的氮化层，组成相主要有TiN和Ti。激光氮化层的显微硬度可达0.3790 HV，是基体的2.3倍。