用于辅助镀膜的霍尔等离子体源 用于辅助镀膜的霍尔等离子体源

用于辅助镀膜的霍尔等离子体源

  • 期刊名字:光学仪器
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  • 论文作者:尤大伟,黄小刚,武建军
  • 作者单位:中国科学院空间科学与应用研究中心
  • 更新时间:2023-03-21
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论文简介

论述了该源的工作原理,讨论并测试了该源最佳的磁场及分布.设计采用了永久磁铁并利用极靴产生发散磁,沿轴向有较大梯度的磁场,又称该源为端部霍尔加速器.最后给出了束流及均匀区实测结果.

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