半导体激光器干涉测量技术应用研究

半导佑激光干涉技术在传统技术上不断创新，综合应用现代信号处理、精密机械等多个领域的新成果而形成的技术。该传感器具有结构简单，成本低的特点，使用不同的膜片以适用于不同的测量要求。