微流量控制系统的研究

本文设计制作了一种由PZT驱动的无阀微型泵，和由微沟道组成的微流量控制系统。其中无阀单向阀是由等腰梯形扩散/收缩管组成，泵腔采用圆形设计，直接切除成圆形驱动腔弥补了利用腐蚀工艺制作圆形难以实现的不足。通过计算机软件IntelliSuite对制作工艺的模拟，确定了无阀型微泵、扩散/收缩管微阀和微沟道的制作方案。采用MEMS工艺制作出所设计的部件并组装完成微流量系统。同时引用多方文献分析了扩散管的角度、长度和最小口宽度分别对扩散管整流效率的影响，优化了无阀型单向阀扩散/收缩管的结构参数，对进一步提升微泵的性能奠定了基础。