等离子体高压电源的研究

针对等离子体高压电源的特殊要求,将SPWM脉宽调制技术用于该电源控制中,具有原理简单、控制和调节性能好,可消除谐波,调节和稳定输出电压等诸多特点.本文分析了等离子体高压电源中需解决的关键问题;提出了有效的解决方法.在此基础上,成功研制了一台多路输出电压可调、频率连续可调的等离子体高压电源.样机实验证明了分析和设计的正确性.