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基于霍尔效应的半导体外延片电参数测试

期刊名字：传感器技术
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论文作者：孙慧卿，范广涵
作者单位：华南师范大学
更新时间：2023-03-25
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论文简介

介绍半导体外延片霍尔效应测试的理论和方法,利用霍尔效应测试可以更好地研究半导体材料电学性能,在外延片的研制过程中测试外延层的载流子浓度,利用范德堡法测试电阻率以及载流子迁移率等参数.

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外延片霍尔效应修正函数