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电子靶材材料的制作

期刊名字：科技与生活
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论文作者：陈卫飞
作者单位：株洲冶炼集团股份有限公司
更新时间：2022-12-08
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论文简介

在制造信息基础产品过程中，需要应用各种电子靶材，本文主要介绍了电子靶材应用，电子靶材特性要求，电子靶材制造工艺。

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电子靶材制作溅射