LED行业用废氨气处理技术

MOCVD金属有机物化学气相沉积法制备LED外延技术产生的尾气危害较大,需要进行处理才能排放. 对现有的几种尾气处理技术进行分析,指出各自存在的优点和缺点. 从回收利用和节能减排两个角度出发,对原有方法进行了改进,提出四级尾气吸收的新型尾气处理技术,实现了氨气的回收利用,降低对大气的污染.