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MEMS在电气设备中应用探讨

期刊名字：微纳电子技术
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论文作者：康明才，吴军基，黄锦安
作者单位：南京理工大学
更新时间：2022-12-03
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论文简介

以电力系统保护为背景,分析了微电子机械系统(MEMS)的发展使电气设备实现小型化、智能化的可能性;论述了微电器应具备的特征;讨论了微电气设备的特点.

论文截图

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