半导体气体传感器敏感机理的研究进展

论文简介

为了改进半导体气体传感器的选择性,研究人员利用四极质谱仪、气相色谱、阻抗测试、XPS等检测手段对半导体气体传感器的乙醇、硫化氢、氯气、一氧化碳、氢气、含氮化合物和有机烷烃等常见检测气体的敏感机理进行了研究,取得了一些进展.对研究所得结论和理论模型进行了概述,并提出了今后的研究方向.

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