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IC失效分析方法的研究

期刊名字：电子测量技术
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论文作者：梁惠来，张国强
作者单位：天津大学
更新时间：2022-10-08
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论文简介

与传统的分析方法相比较,文中设计优化了失效分析方案.采用先进的Light emission、SAM等技术,提高了集成电路失效分析的成功率和准确度.对IC的设计、研究和生产有积极的指导作用.

论文截图

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