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氮化钛硬质薄膜的制备方法

期刊名字：材料导报
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论文作者：晏鲜梅，熊惟皓
作者单位：华中科技大学模具技术国家重点实验室
更新时间：2023-01-16
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论文简介

随着新工艺和新技术的不断出现,涂层方法越来越多,膜的种类也层出不穷.氮化钛薄膜因具有许多优良的性能而得到了广泛的应用.介绍了几种制备氮化钛硬质薄膜的新方法、形成机理以及其优缺点,并展望了今后的涂层方法的发展.

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氮化钛硬质薄膜制备