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金属氧化物半导体气敏机理探析

期刊名字：西安理工大学学报
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论文作者：田敬民，李守智
作者单位：西安理工大学
更新时间：2023-03-26
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论文简介

讨论了金属氧化物半导体表面的气-气、气-固反应及其相应的电子过程,建立了分析气敏作用机理的理论模型,并提出了改进传感器性能的指导性意见.

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气敏传感器金属氧化物半导体晶粒势垒