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硅尖的制备

期刊名字：微纳电子技术
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论文作者：王艳华，孙道恒
作者单位：厦门大学机电系
更新时间：2023-01-16
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论文简介

隧道硅尖的制备是微机械隧道传感器制作的一个重要组成部分,通过对ICP刻蚀和湿法各向异性刻蚀工艺制备硅尖实验的研究,得到了合适的工艺条件以及较理想的硅尖.

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硅尖各向异性刻蚀 ICP