射频感应耦合低压等离子体特性分析

采用光谱诊断法和Langmuir单探针法对射频感应耦合Ar气等离子体特性进行分析.通过光栅光谱仪研究了低气压下Ar气等离子体的光谱强度的变化特性,采用Langmuir单探针法测量不同条件下电子密度和电子温度.等离子体发射光谱的光谱强度随着气压和功率的增加而增强,射频功率对光谱强度的影响较明显.当功率从120 W增加到180 W时,光谱强度将会迅速增加,等离子体发生E模向H模的模式转换.Langmuir单探针法测量的电子密度和电子温度在的变化规律符合E模向H模转换的变化规律.