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微电子工业用湿化学品的生产和发展

期刊名字：上海化工
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论文作者：李葰
作者单位：上海市合成树脂研究所
更新时间：2022-11-07
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论文简介

叙述了集成电路芯片加工用的湿化学品的分类,主要是超净高纯试剂和溶剂,以及如何达到国际半导体设备和材料协会所要求的C7、G8或C12规格的纯化方法.

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