微波氢等离子体的特性

期刊名字：物理实验
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论文作者：郑晓毅，徐伟
作者单位：广州大学物理与电子工程学院
更新时间：2023-03-20
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论文简介

在MPCVD装置中,通过调节微波功率和反应腔压强,使用高分辨率多道光谱仪采集氢气的Hα线.由谱线的多普勒展宽计算得到氢等离子体中的离子温度.结果显示,随着微波功率的增大,离子温度会先升高后降低；随着反应压强的增大,离子温度也先升高后降低.这说明在MPCVD装置中,可以通过调节装置,得到最佳微波能量吸收点.

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氢等离子体微波放电多普勒展宽离子温度

微波氢等离子体的特性

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