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电感耦合RF放电等离子体的电流特性

期刊名字：深圳大学学报
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论文作者：奚定平，余陨金，陈静秋
作者单位：深圳大学理学院
更新时间：2023-03-21
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论文简介

从等离子体波动方程和动力学方程出发,利用解析方法,讨论电感耦合RF放电等离子体的电流特性和衰减机制.发现只有当等离子体波的波速低到与等离子体内能量较高一部分电子轴向运动速度相当时,等离子体和波相互作用才能在衰减机制中居主导地位.

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电感耦合RF放电等离子体电流特性电子速度分布函数玻尔兹曼方程