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Be靶制备技术研究

期刊名字：原子能科学技术
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论文作者：许国基，杜英辉，王瑞兰
作者单位：中国原子能科学研究院
更新时间：2023-01-16
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论文简介

介绍了Be靶制备的电阻加热法、滚轧法、静电振动法、离心沉淀法、聚集束溅射法等.结果显示:电阻加热和滚轧制备自支撑Be靶的厚度范围分别为20～970 μg/cm2和3.8～20 μm.

论文截图

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自支撑Be靶聚焦束溅射滚轧退火