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CVD复制技术制备ZnS头罩

期刊名字：红外与激光工程
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论文作者：鲁泥藕，霍承松，付利刚，石红春，孙加滢，杨海
作者单位：北京有色金属研究总院
更新时间：2023-01-16
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论文简介

为减轻生产、加工难度和减少材料浪费,提出了CVD复制技术制备ZnS头罩的方法.着重阐述了衬底和CVD过程对复制ZnS头罩的影响,并列举了复制ZnS头罩时衬底材料的要求.

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CVD复制 ZnS头罩衬底过程