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FMCS在半导体工厂项目上的设计应用

期刊名字：工业控制计算机
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论文作者：王辉
作者单位：美施威尔(上海)有限公司
更新时间：2023-03-23
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论文简介

采用FMCS系统来满足上海晟碟半导体二期项目控制集成需求,主要从PLC控制、DDC控制等方面进行了全面设计及运行方案的论述.

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集成控制 PLC DDC