等离子体离子能量自动分析器的研制和应用

期刊名字：电子学报
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论文作者：吴先球，陈俊芳，蒋珍美，熊予莹，吴开华，任兆杏
作者单位：华南师范大学物理系,中国科学院等离子体物理研究所
更新时间：2023-03-20
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论文简介

为了快速获得等离子体离子能量的分布规律,研制了一套等离子体离子能量自动分析器.离子能量自动分析器由多极型探头和计算机控制的测量系统组成.利用离子能量自动分析器在线测量了ECR等离子体中离子能量分布范围为12～42eV,不存在对被加工的半导体器件表面产生损伤的高能离子,从而ECR等离子体技术适合于在半导体器件加工中应用.

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离子能量分布器件损伤自动能量分析器 ECR-PECVD

等离子体离子能量自动分析器的研制和应用

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