MEMS的设计方法与系统模拟

随着MEMS产业重点从单个的MEMS器件向MEMS系统产品的转移,MEMS系统级模拟变得日益重要.文中主要介绍了MEMS系统的一些结构化、标准化的设计方法以及MEMS系统建模与模拟的分级,重点阐述了MEMS器件级与系统级模拟之间的桥梁——宏模型的建立及系统级模拟的实现.最后介绍了微加速度计系统模拟的一个例子.