MCM基板钎焊设备

MCM技术的出现极大地推动了现代微电子技术的发展,集成电路正朝着大规模、高密度、多功能、小尺寸的方向发展.MCM基板作为MCM的最基础也是最重要的组成单元,直接决定了整个集成电路的电参数和功能特点.面对传统MCM基板生产设备的缺陷和产能的不足,开发了新型的真空钎焊设备,很好地解决了产能和空洞率的问题,使得生产效率和产品质量都有了极大的提高.着重介绍了MCM基板钎焊设备的结构特点和重要的性能参数.