硼靶制备技术的研究

论文简介

介绍B靶制备技术及其质量厚度测量方法.静电振动、高压电喷和离心沉淀主要用于制备有衬B靶,而聚焦重离子束溅射和电子轰击可用来制备自支撑B靶和有衬B靶.B靶的质量厚度用分光光度法和称重法测量.

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