甲烷浓度对于金刚石膜二次形核的影响

采用实验室研制的石英钟罩式MPCVD装置，在低功率（950 W）条件下，以H2-CH4为反应气源，在不同甲烷浓度下沉积了金刚石膜。利用扫描电子显微镜、激光拉曼光谱及X射线衍射仪等对金刚石膜二次形核现象进行了分析。实验结果表明：甲烷浓度变化对金刚石膜沉积过程中二次形核有不同程度的影响。甲烷浓度由1.0%上升到2.5%时，薄膜中二次形核现象逐渐增加，晶粒尺寸逐渐减小，金刚石相含量下降，晶面取向由（111）面转变为（220）面以及（311）面。