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丙酮离子传感器的制备

期刊名字：科技创新导报
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论文作者：李捷，童敏明，刘涛
作者单位：中国矿业大学信息与电气工程学院
更新时间：2023-01-17
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论文简介

本文提出了一种丙酮离子传感器的制备方法.采用纳米结构的SiO2和Ta2O5制作出敏感膜,涂覆在MOSFET的金属极上从而得到氢离子敏场效应传感器,将丙酮溶液采用催化剂热解离法解离出氢离子之后,再用离子敏场效应传感器检测氩离子,从而间接的实现了丙酮的检测.

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丙酮催化剂热解毒氢离子敏场效应传感器纳米 SiO2Ta205