射频开关热分析方法研究

对大功率射频开关的热分析方法进行了研究，采用大功率等效试验与耦合仿真方法，分析了大功率射频信号对射频开关的影响。仿真与试验结果说明了大功率信号将导致射频开关的材料属性以及结构变化，导致射频性能显著下降。最后分析了射频开关主要的3种失效模式：热击穿、电击穿与接触失效。