用于CTCP技术的射频无电极放电氮气等离子体光源研究

本文报道了一种利用射频无极放电激励的氮气等离子体新型光源,成功地对"星光"PS版进行了曝光,光谱分析表明氮气射频放电光源的光谱结构较碘镓灯更适于传统PS版曝光.为此,进一步从射频功率、工作气压等方面探讨了光源的最佳运行参数,得到在230Pa、160W、采用两个传输透镜聚焦后获得的光源功率密度是2.23mW/cm2.最后给出了运用此光源对PS版的曝光结果.