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SQUID与半导体样品的无损检测

期刊名字：现代测量与实验室管理
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论文作者：钟青，乔蔚川
作者单位：中国计量科学研究院
更新时间：2023-03-24
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论文简介

随着半导体集成度的不断提高,半导体检测技术也不断拓展和更新.SQUID是目前所知的最灵敏的磁场和磁通探测器.本文将介绍一种以SQUID为探头的、非接触式的、半导体材料和器件检测装置.

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SQUID 半导体无损检测