分光光度法测量铝镓氮外延片中的铝含量*

采用熔融的氢氧化钠刻蚀在蓝宝石衬底上生长的铝镓氮外延层，用深紫外光致发光光谱仪测量铝镓氮的荧光光谱来控制铝镓氮层的刻蚀深度，用盐酸将含铝氢氧化钠中和并调节至酸性(pH1~2)后转移至250 mL的容量瓶内定容，用铬天青S络合显色，用分光光度计在546 nm处测定吸光度来确定铝的浓度。该法测量结果的相对标准偏差为1.1%（n=5），加铝标准溶液做回收试验，回收率为96％～103%。该法可用于铝镓氮外延片中铝含量的准确测量。