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基于半导体光刻技术的自动调焦

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论文作者：王彭，杨永跃，李其德
作者单位：合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
更新时间：2023-03-24
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论文简介

提出了基于图像处理的半导体光刻技术自动调焦的方法,利用图象处理算法实现半导体光刻技术的自动调焦.实验结果表明,这种方法可以实现高精度(200nm)和良好的重复性(400nm)的调焦.

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光刻技术图像处理自动调焦