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端部霍尔离子源工作特性及等离子体特性研究

期刊名字：真空科学与技术学报
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论文作者：潘永强，朱昌，陈智利，杭凌侠
作者单位：西安工业学院光电科学与工程系
更新时间：2023-03-20
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论文简介

研制了一种用于离子束辅助沉积光学薄膜的端部霍尔等离子体离子源,论述了该源的工作原理以及伏安特性.着重研究了用五栅网探针测试该源所发射的离子能量的原理和方法,并对测量结果进行了分析、比较.对该离子源的离子束流密度和均匀性进行了测试和分析.

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端部霍尔离子源等离子体离子束辅助沉积光学薄膜