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氮化物半导体的研究进展

期刊名字：半导体技术
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论文作者：蒋荣华，肖顺珍，李艳
作者单位：峨嵋半导体材料研究所
更新时间：2023-03-24
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论文简介

叙述了GaN的研究进展及其材料制备的关键技术.

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