JB/T 10076-1999 冷阴极电离真空规管 技术条件

UDCZB中华人民共种国专业标准了阶10076.9尸ZB￥286-84冷阴极电离真空规管技术条件Specifications of cold cathode ionization vaouum gauge head1984-12-10发布1985- 10-01实施中华人民共和国机械工业部批准中华人民共和国专业标准UDC冷阴极电离真空规管技术 条件ZB Y286-84Specifications of cold cathodeionization vacuum gauge head本标准适用于测量压强不小于5 xI0~°Pa (3.8x10~* Torr)的潘宁型、磁控管型和反磁挖管型冷阴极电离真空规管(以下简称规管)。1技术要求1.1 外观a.玻璃规 管外壳无裂纹或明显的气线、气泡等缺陷:b.规管与真空系统连接部分表面不应有影响密封性能的划伤;c.规管工作磁铁与管壳之间应有调整和固定装置:d.规管外壳与管基之间的固定应牢固:规管绝緣件表面应清洁无污染:f.规管电极装架应牢固、 无松动等现象;g. 规管应有明显、清晰的标志。1.2 连接规管与真空系统连接部分应满足下述要求:a.连接管道为玻璃管 时应采用硬质玻璃;b. 圆形管道连接时，管道外径应为15.5士0.5 m m .采用法兰连接时，法兰尺寸应符合有关标准的规定。1.3工作大气条件规管在下述条件下应能正常工作:周围环境温度为0~+40C;b.相对湿度为10~75% (25个时) ;c.大气压强为86~108 KPa (860~1080 mbar)。1.4密封性规管对氦气的漏率应为:Q≤1 x10~'P ....式中:Q--漏率，Pa.m*S~'$规管测量范围的下限值，Pa.1.5绝缘性能在工作大气条件下，规管阳极和阴极之间的绝緣电阻应为:R≥10-5.................... (2)R一绝缘电阻，Q; .v--规管工作电压，V;机械工业部1984-12- 10发布1985- 10-01实施ZB Y286- -84 .P-- -规管测量范围的下限值，PasS-一规管测量范围下限灵敏度，A/Pa.1.6零散性单个规管特性曲线对标准曲线的相对压强偏差应不超出下述范围:当压强大于5 x10~* Pa时:一50%~+ 70%，当压强小于5 x10~° Pa时: -60%~ + 150%。1.7漱发时间规管在测量范围的下限值附近时,从加上工作电压到开始正常放电之间的时间间隔应不大于30秒。1.8稳定性规管在测量范围内由双值现象引起的特性曲线对平均值的相对压强偏差不应超出土20%。1.9抗运输环境性能规管在运输包装条件下，应能符合ZBY002--81《仪器仪表运输、运输贮存基本环境条件及试验方法》的要求。其中:高温试验选用+55C;低温试验选用一40C;跌落高度为250 mm。试验后，规管仍应符合本标准1.1a、b. d. f, 1.4和1.6的要求。2试验方法2.1规管是否符合1.1的要求,用目测成相应的工具来进行检查。2.2规管是否符合1.2的要求，用观察或相应的检测工具来进行检查。2.3规管是否符合1.4的要求，在相应灵敏度的氮质潜检漏仪上进行检查。2.4规管是否符合1.5的要求，使规管处于大气状态,用相当于规管工作电压的兆欧表成其它绝缘电阻测量仪器，分别在下述条件下直接测量阳极和阴极之间的绝缘电阻:a.温度: +40C。试验条件按GB 2423.2- 81《电工电子产品基本环境试验规程试验B;高温试验方法》中22.3条的规定，达到规定温度0.5小时后进行测试。b.湿度75% (25个时) ●试验条件按GB 2423.3- -81《电工电子产品基本环境试验规程 试验Ca,恒定湿热试验方法》的規定，达到规定湿度2天后进行测试。2.5规管是否符合1.6的要求，采用下列方法和装置进行检查:2.5.1计算单个规管 特性曲线的压强偏差(与标准曲线比较) ,按下式进行:△=A- Alx 100............ ......... ( 3)A.式中:△一 相对压强偏差， %;A一- -选定点压强值，Pa;Ao-一标准曲线对应的压强值, Pa。每个量级选点不少于3点。2.5.2校准采用动态直接比较法进行.它的基本原理是将待校准的真空计和标准真空计接在同-校准室上，该室所需压强可以通过动态平衡调节取得。2.5.3校准装置如下图所示。它主要由下列几部分组成:2.5.3.1若干个测量范围互相街接的标准真空计(或经校准过的真空计)。当压强大于5 x10~Pa时，其误差不超出土10%:当压强小于5 x10~Pa时，其误差不超出土40%。2ZB Y286-84Q,0-5文，、校准装置示意图图中:1-校准室:2-被校真空计:3一标准真空计:4一-监测真空计:5一微调阀:6一一氮气源;7一抽气调节阀。2.5.3.2动态平衡真空 系统应满足下述条件:a.校准室容积不小于所有连接到校准室上规管总容积的50倍;b.校准室的残余压强不得超过校准压强下限的2%1c.动态注入校准室的气体分子至少与其器壁碰撞- -次后方能进入规管;d.校准室与规管连接的过渡管道流导不小于1 x10~* m*.S*.2.5.3.3监测校准室中压强的是电离真空计。2.5.3.4校准用的氮气。 其纯度不低于99. 9%。2.5.3.5温度计(-10~+50C;误差土1 C)。2.5.4校准时， 规管配用稳定的真空计控翻单元。其工作电压误差不超过+1%1其放电电流读数采用精确度等级不低于0.5級的电流读数装置。2.5.5校准前。规管必须按产品规定的方法通电老化或除气处理。2.5.6校准按压强 上升程序进行。当监测真空计指示校准室内压强读数在3分钟内变化小于1%后，同时记下标准真空计示值和被检规管的放电电流读数。2.6规管是否符合1.7的要求，在真空系统上被检规管抽至规定的压强下限值附近,关闭真空计控制单元0.5小时后再打开，用秒表测得激发时间。测试时，允许使用配套控制单元中的辅助激发装置。真空系统的真空度监测可以采用电离真空计，3ZB Y286--84但必须与被检真空计同时关闭或規管与测试系统连接处加一一个接地的金属网，以防止游离的带电粒子对测试的影响。2.7规管是否符合1.8的要求，试验所用的装置与2.5相同.分别技压强上升和下降程序进行校准得到两条特性曲线。当出现双值现象时，则在其中点计算偏离平均值的相对压强偏差值。2.8规管是否符合1.9的要求,按ZB Y 002-81标准中所规定的方法进行试验,然后按本标准2.1,2.3和2.5进行测定。3檢验规则8.1为了保证规 管的质量符合本标准的各项要求，产晶必须通过出厂试验、型式试验和验收试验。3.2出厂试验3.2.1出厂 试验由制造厂质量检验部门进行。8.2.2批量生产的规管， 每只规管都要按1.1. 1.2、 1.4和1.6的要求进行检验，当不符合其中任何-条规定时，即作为废品予以剔除。经检验合格的产品附产品合格证后方能入库和出厂。8.3型式试验3.3.1型式试验由 制造厂质量检验部门负责进行。3.3.2型式试验按本标准的全部要求进行。3.3.3当出现下列情况之- -时，规管应进行型式试验:a.试制新产 品时:b.产品在设计、工艺或使用的材料发生改变后，可能影响到性能时:c. 停产超过一年再投产时，d.成批生产的产品， 每年至少进行一次。3.3.4型式试验的样 品应从出厂试验合格的批量产品中任意抽取2 %，但不少于5只的规管进行试验。试验过程中，若有一项不合格，则应再取加倍数量的产品进行全部项目的复验。若仍有一项不合格时，则认为型式试验不合格。3.4验收试验3.4.1验收试验在订 货方提出要求时进行。试验项目由供需双方协商决定。3.4.2验收 试验的样品从成交产品中任意抽取2 %,但不少于 2只的规管进行试验。 试验过程中，若有一项不合格，则应取加倍数量的规管进行复验。若仍有一项不合格，则认为验收试验不合格。8.4.3验收试验不合格的产品，厂方应予以剔除或调换。4标志，包装和贮存4.1标志规管应有下列醒目的耐久性标志:a。制造厂名称或商标;b.产品名称和型号:c.制造年、月或出厂编号。4.2包装4.2.1每只规管 在包装时应附有产品说明书和产品合格证。产品说明书应包括如下内容:a.制造厂名称或商标:ZB Y286-84c.产品标准编号:d.产品外形图及主要尺寸e.主要参数和标准曲线;t. 电极接线图:g.规管清洗方法;h.产品特点和使用要求;1.其它。4.2.2规管包装应符合ZBY003--84《仪器仪表包装通用技术条件》的规定，达到防震，防潮和耐压的要求。4.3 贮存规管应保存在温度0~50C,相对湿度不大于75% (25飞时) 的环境中。周围不应该有强磁场和腐蚀性气体。附加说明:本标准由上海市通用机械技术研究所提出。本标准由冶金部钢铁研究总院、上海市通用机械技术研究所负贵起草。本标准主要起草人:林立三本标准委托上海市通用机械技术研究所负责解释。