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SMIF/微环境中数值模拟气流的研究

期刊名字：建筑热能通风空调
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论文作者：徐文华，胡雨燕
作者单位：同济大学热能工程
更新时间：2023-02-11
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论文简介

SMIF/微环境是应IC产品集成度不断提高而发展起来的新技术.由于其工艺复杂,造价昂贵,所以在设计时有必要对其运行性能加以预测.本文运用CFD技术预测其内部气流流场,为SMIF装置的设计制造及运行提供理论依据.

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SMIF/微环境气流数值模拟