精密孔径测量仪计量检定方法研究

精密孔径测量仪是一台以长光栅为标准，利用光电瞄准技术进行非接触绝对测量的高精度测长仪器；主要用于测量内孔直径，还可以用于测量轴径、两平行平面距离及玻璃尺刻线间距等。文中主要研究测量范围为（0～200） mm，分辨力为0.1μm的精密孔径测量仪的检定方法。