JB/T 9125-1999 立式涡轮分子泵

IcS23.160JB中华人民共和国机械行业标准JB/T9125-1999立式涡轮分子泵Vertical turbo molecular pump1001发布2000-01-01实施JB9125-1999前言本标准是对ZBJ80151-89《立式涡轮分子泵型式与基本参数》和ZBJ780152-89《立式涡轮分子泵技术条件》进行的修订。修订时,对原标准作了编辑性修改,主要技术内容没有改变。本标准自实施之日起代替ZBJ780151-89和zBJ780152-89本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出并归口。本标准起草单位:沈阳真空技术研究所、南光机器厂。本标准主要起草人:李玉英、李春影、冯慧生本标准于1989年首次发布。中华人民共和国机械行业标准JBT9125-1999立式涡轮分子泵代替ZBJ8015.1-89ZBn80152-89Vertical turbo molecular pump1范圉本标准规定了立式涡轮分子泵的型式,基本参数,技术要求,试验方法,检验规则,标志、包装运输和贮存等。本标准适用于具有前级泵、变频电源的立式涡轮分子泵(以下简称泵下列标准所包含的条文,通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时,所示版本均为有效。所有标准都会被修订,使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性GB191-1990包装储运图示标志GBT4982-1985夹紧型真空快卸法兰60701995真空法兰GBT6071-1985超高真空法兰GB/T658711986电子测量仪器环境试验总纲GBT65872-1986电子测量仪器温度试验GBT65873-1986电子测量仪器湿度试验GBT658741986电子测量仪器振动试验GB658751986电子测量仪器冲击试验GB/65876-1986电子测量仪器运输试验GB/r77741987涡轮分子泵性能测试方法GBT13306-1991标牌JB/T5278-1991铜丝密封可烘烤真空法兰JB/T8106-1999容积真空泵噪声测量方法JBT8107-1999容积真空泵振动测量方法3定义本标准采用下列定义3.I抽气速率泵在正常工作条件下,单位时间内被抽气体通过测试罩流经分子泵进气口的体积体流量与测试罩规定位置测得的平衡压力之商。3.2极限压力01实施JB/T9125-1999泵在规定的工作条件下,不向测试罩引入气体,泵壳和测试罩经烘烤后48h内在测试罩规定位置测得的平衡压力3.3压缩比通过泵进气口的气流量为零,被抽气体在前级区的分压力至少占全压力的90%以上,泵的前级压力与进气口压力之比为分子泵对该气体的压缩比。从接通电源起到泵转速达到额定转速的90%所需的时间4型式4.1型号表示方法抽气速率,Ls进气口通径,mm立式涡轮分子泵,用F表示4.2标记示例进气口通径为100mm,抽气速率为220Ls的立式涡轮分子泵,标记为:F-1002205基本参数泵的基本参数如表1所示表1F-o0110F-100220F-160450F-2501400F-3202000F-400350014003500吸限压力10对压缩比起动时间<5<0.5噪声L<70进气口通径JBT9125-1999表1(完)F110F=100220F-160450F250140F-320200F400500出气冂通径电源输入电压220±10%(50H)或380±10%(50H)电源消耗功率<220<440电源起动功率<500001)电源有以下三种类型:a)电子模拟式自动变频电源b)微机程控式自动变频电源c)电机变式电源6技术要求6.1泵的主要技术性能应符合表1和按规定程序批准的设计图样要求62泵在下列环境条件下应能正常工作a)环境温度为5-40℃;b)空气相对湿度小于85%;c)冷却水进水温度不高于25℃;6.3泵应避免抽除带粉尘、腐蚀性或爆炸性气体。泵在正常运转时不允许直接引入大气,不允许有强烈径向振动。6.4为了除气目的,对泵壳、测试罩和真空测量规管进行烘烤,其烘烤温度不得超过以下规定:)泵体及泵壳上法兰:120℃b)测试罩或真空容器:300℃;c)真空测量规管:400℃。6.5推荐前级泵应符合表2要求表分子泵的抽气速率140035前级泵的抽气速率270前级压力10~1JBT9125-199966泵的进气口连接法兰及密封圈应符合GBT6071和JBT5278的规定。67泵的出气口连接法兰及密封圈应符合GBT4982和GBT6070的规定68为了防止异物落入泵内,泵的进气口应设置耐腐蚀金属过滤网,并加以固定。69泵应在明显位置设置主机运转方向的指示标牌6.10泵应采用专用油、脂润滑,其饱和蒸气压在常温下不得高于3×10·Pa611冷却水流量应符合设计要求,且具有保护装置。6.12泵的电动机和烘烤装置对泵壳应有可靠的绝缘措施,其绝缘电阻不小于2M6.13电源输出电流不应大于设计图样规定值,具有保护措施6.14电源输出的三相线电压应对称,其不对称性不得超过±05V。615主机和电源在正常工作条件下的平均无故障工作时间(MTBF)应达到以下要求电源:≥2000h7试验方法7.1极限压力测试极限压力的测试应符合GBT7774的规定7.2压缩比测试7.2,1压缩比的测试装置,除符合GBT774规定外,应设置质量数为1-100的具有足够分辨率的质谱分压计。7.22压缩比测试所用气体为氮气(N2)和氢气(H2),其纯度应在999%以上。7.2.3压缩比的测试方法应符合GBT774的规定。测试氮气的压缩比时,还应采用质谱分压计进行监测7.3抽气速率测试抽气速率的测试应符合GBT774的规定7.4起动时间测试起动时间测试应符合GBT7774的规定7.5振动测试7.5.1泵应牢固地固定在刚性测试架上,测试架的重量应大于被测泵重量的4倍7.5.2泵的出气口与前级泵之间应采用金属波纹管或真空橡胶软管连接。7.5.3泵正常运转1h后,按JBT8107规定方法测量泵的振动。测量位置为图1所示A、B、C、DE、F各点。JBT9125-1999分子泉试架IIF TE图7.6噪声测定7.6.1泵的安装应符合751和752的要求。7.6.2泵正常运转1h后,前级泵停止运转,立即按JBT8106规定方法测量泵的噪声。7.7转速测试7.7.1泵的安装应符合75.1和752的要求。7.7.2泵正常运转1h后测试泵的转速。测量转速时,用测振仪在泵的上下法兰沿径向圆周上各测3点振幅峰值,并以最大峰值的频率表示泵的转速值7.8电源测试781电源与主机配套试车时,用常规仪器检查输出三相线电压是否符合614的要求。7.82电源与主机配套试车时,用常规仪器检查电源各参数是否符合设计图样要求7.83电源的环境试验按GBT65871-658761986规定的第Ⅱ组类型进行试验7.9平均无故障工作时间试验主机和电源的平均无故障工作时间用近3年内试验报告或用户使用报告(连续或累计运转时间)核7.10连续运转试验主机与电源配套试车后,应进行连续500h运转试验检验规则8.1泵(包括主机和电源)必须经过制造厂检验部门检验合格,并具有质量合格证方能出厂8.2泵的检验分出厂检验和型式检验8.2.1出厂检验必须逐台进行,出厂检验项目包括:a)外观质量;b)连接尺寸及密封面质量;c)安全保护装置的可靠性;d)极限压力;JBrT9125-1999f)电源参数;g)产品成套性8.22凡新试制的产品或在产品结构、制造工艺、使用材料等方面有重大改变时,应进行型式检验。型式检验项目包括a)出厂检验的所有项目b)压缩c)抽气速率d)起动时间f)环境试验g)运转试验8.2.3型式检验:每批抽5%,但不少于2台。如不合格,应加倍抽检。再不合格,检查全部产品9标志、包装、运输和贮存9.1每台泵应在明显位置装有产品标牌,标牌的型式及尺寸应符合GBT13306的规定。产品铭牌至少应注明以下内容:a)产品型号及规格;b)制造厂厂名;c)产品编号及制造日期。9.2泵包装前应排除主机冷却水管内的积水和油杯内的润滑油,并将泵的进气口和出气口用盖板封9.3主机和电源包装时,先用塑料薄膜罩封,再用发泡塑料封装后装入包装箱内;或用塑料薄膜罩封后直接装入包装箱内用软质材料填充,并加以固定封牢。电源用塑料薄膜罩封时应放入干燥剂(如硅胶)9.4包装箱外应有贮运图示标志,其标志应符合GB191的规定9.5包装箱应适合铁路、公路、内河航运和航空运输。在运输和存放过程中不允许有剧烈振动和倒置。如对包装箱有特殊要求,按有关规定办理。96主机和电源应存放在通风条件良好的室内。泵的贮存期一般不超过6个月,如超过6个月,应定期开箱检查。9.7每台泵出厂时应附有下列文件b)产品合格证;)装箱单