镜面无损检测系统

介绍了基于"魔镜"技术原理研制的镜面无损检测系统。该检测系统已应用于Si片和其他半导体抛光晶片的质量检测，且其用途已延伸到与超平镜面有关的各种技术领域，如硬盘、光盘、玻璃衬底等。