平晶平面度测量方法的研究

针对不同精度平晶的测量要求,介绍了3种平晶平面度的测量方法.阐述了比较测量的原理以及测量精度的局限性.对于高精度平晶的检测,介绍了2种绝对测量的方法.对这2种方法编制了模拟程序和数据处理程序,并进行了实验.不同方法的测试结果符合较好,面形评价数据在相同数量级上,验证了测试方法的可行性,实现了无参考面的高精度测量.