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气相色谱法测高纯磷烷中的杂质含量

期刊名字：低温与特气
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论文作者：郁光，咸鹏林，庄鸿涛，方华
作者单位：上海华爱色谱分析技术有限公司
更新时间：2023-01-04
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论文简介

采用氦离子检测器( PDHID)气相色谱分析方法测定磷烷( PH3) 中的杂质,结果表明氦离子检测器( PDHID)对磷烷分析有较好的效果,并验证其测量应用范围.

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